製品情報
爪スライド式超精密
エアチャック
ダイアフラム式超精密
エアチャック
エア供給装置
ツールホルダー
コンタクトセンサー
ロータリーワイパー
油圧ブースター
洗浄剤
アクセサリー
爪スライド式超精密エアチャック
●主な特徴
■サイズ： 2.5″~10″
■スライド爪種類： 2, 3, 4
■繰返し精度： 1.5μm以内
■スライド爪種類： 2, 3, 4
■繰返し精度： 1.5μm以内